光学3D表面轮廓仪高效检测MEMS表面特性

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　　微电子机械系统( MEMS)是指采用微机械加工技术、可以批量制作的和集微型传感器、微型机构、微型执行器以及信号处理和控制电路、接口、通讯等于一体的微型器件或微型系统。MEMS作为在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的新兴学科，它以微电子及机械加工技术为依托，范围涉及微电子学、机械学、力学、自动控制学、材料科学等多种工程技术和学科。

　　日前国内外对MEMS的研究取得了重大的进展，MEMS广泛的用于各种产业领域，如信息工程、分析化学、航空、科学仪器、生物医学、汽车等。已开发的MEMS产品包括微型马达、微型压力传感器、微型加速度计、微型机械陀螺仪、微型光学电子机械系统、光开关、生物化学芯片等，在前沿科技、汽车行业、医疗与健康监护、可穿戴与便携式系统、智能手机等军民两用领域都取得了迅速的发展。

　　MEMS从设计到封装的各个环节都要贯彻测试的要求。在MEMS研究的整个过程中，存在着大量的测试项目。由于MEMS的尺寸小、质量小、易受环境影响等特点，对测试提出了新的要求。MEMS测试的主要目的是在工程发展中对设计和仿真过程提供反馈，包括装置行为、系统参数和材料特性等。

MEMS

　　在MEMS测试项目中，表面特性（粗糙度、台阶高）是一个非常重要的项目，目前主要是采用非接触式的光学3D轮廓仪(白光干涉仪）进行测量。深圳市中图仪器股份有限公司（以下简称中图仪器）利用自身多年的技术积累，潜心数年，研发出了国产性能高、高精度光学3D轮廓仪，在与进口品牌测试对比中，性能和稳定性都达到了同类进口品牌水平。

　　中图仪器光学3D表面轮廓仪具有以下特点：

——　3D测量，一览无余　——

　　采用白光干涉技术，结合具有抗噪性能的3D重建算法，真实还原样品的每一个细节，随意翻转缩放，助您轻松观察、测量样品的任意特征。

——　功能强大，参数齐全　——

　　粗糙度、平面度、孔洞分析、顶点分析等3D测量功能全部囊括，距离、角度、直径测量等2D轮廓分析功能完全覆盖，更有依据ISO|ASME|EUR|GBT四大国内外标准的300余种特征参数，让您对样品的了解细致入微。

——　操作便捷，简单明了　——

　　直观的操作界面，让您对操作流程一目了然，自动聚焦，助您一键实现测量过程；可视化的工作流程树，一键激活的图库管理功能，所见即所得的同步分析功能，更有一键分析功能，批量测量不用愁。

——　超高重复精度，稳定可靠　——

　　采用了高精度扫描模块和内部抗振设计，可实现至高0.05%的测量精度重复性和0.002nm的粗糙度RMS重复性，诠释始终如一的测量品质。

——　两种型号，量身定制　——

　　W1系列光学3D表面轮廓仪提供1100单镜头手动版和1200多镜头自动版两种机型，另可针对不同的客户需求，在两种型号间选取不同配置进行组合，让仪器完美切合客户需求，贴心更省力。

——　广泛应用，贴心服务　——

　　可测2D/3D轮廓、粗糙度，300余种特征参数……光学3D表面轮廓仪在半导体、超精密加工及微纳材料等领域可得到广泛应用，超光滑硅晶片表面粗糙度、超精密非球面弧面线粗糙度、金字塔型磁头夹角、微透镜阵列曲率半径……一个个来自客户的实际应用案例，让我们对这款产品充满信心，全程跟进的技术支持，为您提供贴心的服务。

　　中图仪器SuperView w1系列光学3D表面轮廓仪，为满足客户的应用需求而生。

中图仪器光学3D表面轮廓仪主要技术指标：